Части оборудования и аппаратуры исключительно или в основном используемой для производства полупроводниковых слитков или пластин полупроводниковых устройств электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев
Оборудование и аппаратура исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин полупроводниковых устройств электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев
Линзы призмы зеркала и элементы оптические прочие (кроме изготовленных из стекла неоптического) в сборе и не в сборе кроме предназначенных для камер проекторов или фотоувеличителей или фотоуменьшителей