Оборудование и аппаратура исключительно или в основном используемые для производства полупроводниковых слитков или пластин полупроводниковых устройств электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев
Части оборудования и аппаратуры исключительно или в основном используемой для производства полупроводниковых слитков или пластин полупроводниковых устройств электронных интегральных микросхем или плоскопанельных дисплеев