Вопрос (добавлен
13.04.2018 17:18 ):
1. Согласно пункту 6, магнетроны должны иметь мощность 1500 Вт, а согласно пункту 7, источник питания магнетронов должен иметь мощность 1000 Вт. С чем связана разница? Кроме того, плотность мощности, приходящей в мишень магнетрона диаметром 40 мм при столь высокой мощности будет столь высока, что организовать эффективное охлаждение мишени не удается.
2. В пункте 14 указана максимальная скорость роста пленки 15 нм/час. При мочщности магнетрона 1500 Вт для получения столь малых скоростей роста необходимо располагать магнетрон на очень большом расстоянии от подложек, значительно большем, чем позволяют размеры вакуумной камеры (пункт 1). Чем все-таки руководствоваться при выборе мощности МРС?
3. В пункте 15 задана точная масса установки 280 кг. Откуда такое требование и насколько оно важно?
4. Чем вызваны точные требования к присоединительным фланцам насосов? Может ли исполнитель при выборе откачных средств руководствоваться требованиями к давлениям в вакуумной камере, предъявляемым в техническом задании?
|
